氧化锌其薄膜晶格的结构和应用

        氧化锌薄膜是一种具有优良的压电、光电、气敏、压敏等性质的材料。氧化锌薄膜的制备方法多样，薄膜的性质取决于不同的掺杂组分，并与制备工艺紧密相关。简述了氧化锌薄膜的制备方法与基本性质与应用，分析了氧化锌薄膜研究、应用与开发现状，展望了产业化发展前景。氧化锌(氧化锌)薄膜是一种具有广泛用途的材料，其性能随掺杂组分和制备条件的不同而变化。长期以来，对氧化锌薄膜的研究主要集中在压电性、透明导电性、光电性、气敏性、压敏性等方面。人们用氧化锌薄膜做成了声表面波谐振器、压电器件、太阳电池透明电极和增透膜、液晶显示器透明电极、气敏湿敏传感器等，在诸多领域得到了很好的应用。